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CVD-WS2单层连续薄膜 蓝宝石衬底单抛光; 衬底尺寸:10*10mm
发布时间:2024-06-07     作者:h   分享到:

产品名称:CVD-WS2单层连续薄膜 蓝宝石衬底单抛光; 衬底尺寸:10*10mm

产地:西安

状态:固体

储藏条件:常温保存

温馨提示:仅用于科研,不能用于人体实验!

西安齐岳生物科技有限公司是一家集研发,生产,销售为一体的高科技企业,可提供功能化修饰的载玻片、合成磷脂、高分子聚乙二醇衍生物、嵌段共聚物、顺磁/超顺磁性纳米颗粒、纳米金及纳米金棒、近红外荧光染料、活性荧光染料、荧光标记的葡聚糖BSA和链霉亲和素、蛋白交联剂、小分子PEG衍生物、点击化学产品、树枝状聚合物、环糊精衍生物、大环配体类、荧光量子点、透明质酸衍生物、石墨烯或氧化石墨烯、碳纳米管、富勒烯等等,可以满足不同客户的定制需求。

通过化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)法制备的二硫化钨(WS₂)单层连续薄膜是一种具有重要应用前景的二维材料。它在电子学、光电子学和催化等领域显示出巨大的潜力。以下是关于CVD法制备WS₂单层连续薄膜的详细信息:

化学气相沉积(CVD)法制备WS₂单层薄膜

基本原理

CVD法是通过在高温下使前驱物气体在基底表面发生化学反应,从而沉积出所需材料的薄膜。对于WS₂单层薄膜,常用的前驱物包括钨源(如W(CO)₆或WO₃)和硫源(如H₂S或硫粉)。

制备步骤

  1. 基底准备

    • 选择基底:常用的基底包括氧化硅(SiO₂/Si)和蓝宝石(Al₂O₃)。

    • 清洁基底:使用丙酮、异丙醇等有机溶剂清洗基底,然后用去离子水冲洗并干燥。

  2. 前驱物准备

    • 钨源:常用钨的化合物,如钨六羰基(W(CO)₆)或三氧化钨(WO₃)。

    • 硫源:常用硫粉或硫化氢(H₂S)气体。

  3. CVD生长

    • 装载基底:将清洁后的基底放入CVD反应室的中心区域。

    • 放置前驱物:将钨源和硫源分别放置在反应室内的适当位置,通常钨源放置在高温区,硫源放置在较低温区。

    • 升温:将反应室温度升至合适的温度范围(通常在650-850°C之间)。

    • 通入气体:通入氢气(H₂)作为载气,并通入前驱物气体。在高温下,前驱物气体分解并在基底表面发生化学反应,生成WS₂薄膜。

    • 生长时间:控制生长时间,通常在几分钟到数十分钟不等,以获得单层WS₂薄膜。

    • 冷却:停止加热并缓慢冷却至室温。

  4. 后处理

    • 转移过程(可选):如果需要将WS₂薄膜转移到其他基底上,可以使用湿法转移技术。首先在WS₂薄膜表面涂覆一层聚合物(如PMMA),然后通过化学刻蚀方法去除SiO₂基底,再将WS₂/聚合物复合膜转移到目标基底上,最后溶解去除聚合物层。

特性

  1. 电子特性:WS₂具有直接带隙结构,带隙约为2.0 eV,适用于光电子器件。

  2. 机械特性:WS₂单层薄膜具有高机械强度和柔韧性。

  3. 化学稳定性:WS₂具有良好的化学稳定性和耐腐蚀性。

应用

  1. 电子器件:用于场效应晶体管(FET)、逻辑器件和存储器件中。

  2. 光电子器件:用于光探测器、发光二极管(LED)和太阳能电池中。

  3. 催化:用于电催化和光催化反应中,表现出良好的催化活性。

  4. 传感器:用于气体传感、生物传感等领域。

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小编:齐岳hao 2024年6月7日

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