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单层氮化硼薄膜(HBN)Si/SiO2基,CAS:7440-42-8,Monolayer Boron Nitride Film
发布时间:2026-01-08     作者:YFF   分享到:

物质名称:单层氮化硼薄膜(HBN),Monolayer Boron Nitride Film

基础特性
单层氮化硼薄膜(HBN)是一种由硼和氮原子交替排列形成的二维材料,具有类石墨烯的六方晶格结构,但带隙宽度达5.9eV,呈现绝缘特性。其厚度可控制在单原子层级别(约0.33nm),表面平整度极高,覆盖率达100%。该材料在Si/SiO₂基底上表现出优异的化学稳定性,可耐受高温(>800℃)及强酸强碱环境,导热系数高达300W/m·K,同时具备低膨胀系数(约-2.7×10⁻⁶/℃)。

应用领域
HBN薄膜在电子器件领域应用广泛,例如作为金属-绝缘体-金属结构的超薄间隔层,可降低器件漏电流;在纳米电容器中,其高介电常数(约4.0)提升了能量存储密度;场效应隧道晶体管中,HBN作为隧道阻挡层,实现了亚10nm沟道长度的器件制备。此外,其生物相容性使其成为生物传感器基片的候选材料。

制备工艺
HBN薄膜的合成方法包括化学气相沉积(CVD)、分子束外延(MBE)等。以CVD法为例,通过硼烷(B₂H₆)和氨气(NH₃)在高温(1000-1200℃)下反应,可在Si/SiO₂基底上沉积单层薄膜。2025年江苏先丰纳米材料科技有限公司推出的4英寸HBN薄膜,晶粒尺寸>4μm,均匀性误差<5%,满足了工业化生产需求。

研究进展
近年研究聚焦于HBN与其他二维材料的异质结构建。例如,HBN/石墨烯异质结表现出优异的热稳定性,可用于柔性电子器件;HBN/过渡金属硫化物(TMDs)复合材料在光催化领域展现出高量子效率。此外,HBN的缺陷工程研究(如硼空位调控)为其在量子计算中的应用提供了新思路。

单层氮化硼薄膜(HBN)Si/SiO2基

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