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CVD石英基底石墨烯膜(圆形基底),CAS:7440-44-0,CVD Graphene on Quartz Substrate (Circular)
发布时间:2026-01-09     作者:YFF   分享到:

中文名称:CVD石英基底石墨烯膜(圆形基底)

CAS:7440-44-0

英文名称:CVD Graphene on Quartz Substrate (Circular)

1. 制备工艺与结构特性

CVD石英基底石墨烯膜通过化学气相沉积(CVD)技术制备,以高纯度石英玻璃为基底,通过高温分解碳源气体(如甲烷)在基底表面生长单层或多层石墨烯。圆形基底设计适配光学、电子器件的标准化需求,直径范围涵盖1英寸至4英寸。石墨烯层与石英基底结合紧密,表面平整度优于95%,层间均匀性通过拉曼光谱验证,确保电荷传输效率。石英基底的高透光性(>90%)与化学惰性,使其成为光电器件、透明导电薄膜的理想载体。

2. 物理与电学性能

该材料具备石墨烯的典型特性:单层方阻约300-600Ω/□,载流子迁移率达10,000 cm²/(V·s)以上,透光率超过97%(550nm波长)。多层结构(3-5层或6-8层)通过调整层数平衡导电性与透光性,适用于柔性传感器、太阳能电池电极等场景。石英基底的热膨胀系数(0.5×10⁻⁶/℃)与石墨烯匹配度高,在-196℃至400℃宽温域内保持结构稳定,减少热应力导致的性能衰减。

3. 应用领域与场景

在光电子领域,该材料用于制造高响应度光电探测器、透明加热膜及偏振敏感器件;在半导体行业,作为二维材料异质结的衬底,支持拓扑绝缘体、二维过渡金属硫化物的外延生长;在科研领域,其化学稳定性与高洁净度(表面污染物<10¹² atoms/cm²)满足量子输运、纳米电子学等精密实验需求。此外,圆形基底便于与现有光路系统集成,降低器件设计复杂度。

4. 存储与操作规范

材料需密封于氮气或氩气环境,避免与强氧化剂、有机溶剂接触;操作时建议佩戴无尘手套,使用聚四氟乙烯或陶瓷工具,防止金属离子污染。长期存储温度控制在-20℃至25℃,相对湿度<30%,以抑制石墨烯氧化或吸附水分子。使用前需通过原子力显微镜(AFM)检测表面粗糙度,确保符合器件制造要求。

CVD石英基底石墨烯膜(圆形基底)

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